冷凝泵的工作原理
其工作原理是抽气原理
在低温泵内设有由液氦或制冷机冷却到极低温度的冷板 ,它使气体凝结,并保持凝结物的蒸汽压力低于泵压力的max,从而达到抽气作用。低温抽气的主要作用是低温冷凝、低温吸附和低温捕集。
(1)低温冷凝:气体分子冷凝在冷板表面上或冷凝在已冷凝的气体层上,其平衡压力基本上就等于冷凝物的蒸气压。抽空气时,冷板温度要低于 25K;抽氢时,冷板温度更低。低温冷凝抽气冷凝层厚度可达10毫米左右。
(2)低温吸附:气体分子以一个单分子层厚(10-8厘米数量级)被吸附到涂在冷板上的吸附剂表面上。吸附的平衡压力比相同温度下的蒸气压力低得多。如在20K时氢的蒸气压力等于大气压力,用20K的活性炭吸氢时吸附平衡压力则低于10-8 帕。这样就可能在较高温度下通过低温吸附来进行抽气。
(3)低温捕集:在抽气温度下不能冷凝的气体分子,被不断增长的可冷凝气体层埋葬和吸附。
以上就是对冷凝泵工作原理的解释哦。希望小编的整理能帮助到大家!
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